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ISO Class
0.1마이크론 과 0.01마이크론 파티클에 대한 기준
ISO 14644-1 (1999) 기준은 파티클과 관련하여 9가지 등급으로 구분하는데 각 등급(class)은 일정부피 (입방미터 또는 입방피트)의 공기중에 있는 파티클의 수가 정한 수치범위를 넘지않는 것으로 규정하고 있습니다. 각 등급에서 허용한 0.1마이크론에서 5마이크론 크기의 파티클 수를 정리하면 아래의 그래프와 같이 정리할 수 있습니다.

Simco-Ion 제품인 5635을 예로 하여 설명하면, 이 제품은 ISO 14644-1기준의 Class 1의 청정도 (1입방미터의 공간에 0.1 마이크론 보다 큰 파티클이 10개 이하)에서 사용하도록 설계되었는데, 이것은 ISO 14644-12 기준으로는 1입방미터의 공간에 0.01 마이크론 보다 큰 파티클이 1200개 이하인 청정도에 해당합니다.