Model 5941
Simco-Ion의 Micro 시리즈 블로워는 공간 제약이 있는 고급 크리티컬 환경 인-툴 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 컴팩트한 사이즈와 함께 첨단 자동화 프로세스 장비의 현재 요구 사항을 효과적으로 충족합니다. 높이 4.33인치(110mm), 폭 3.15인치(80mm)로 설계된 이 놀라운 컴팩트 In-toll Blower는 백엔드 반도체 환경에서 탁월한 성능을 제공합니다.
Features
ㆍ ±3V 또는 그 이상의 균형 유지
ㆍ 컴팩트한 크기
ㆍ ISO 14644-1 Class 3 수준의 청정도
ㆍ 시설 모니터링 시스템(FMS) 연결
ㆍ 자동 청소 시스템
SPECIFICATIONS
Input Voltage 24 VDC (±10%), 6W max Discharge Without Collimator: <4 sec @ 12" (30.5 cm), typ
With Collimator: <3 sec @ 12" (30.5 cm), typBalance ±3V or better @ 12” (30.5 cm) away
Warning Setpoint: +3.5V (±0.5V), -3.5V (±0.5V)
Alarm Setpoint: +5.0V (±0.5V), -5.0V (±0.5V)Cleanroom Class ISO 14644-1 Class 3 Dimensions Without Collimator: 4.33”H x 3.15”W x 1.60”D
(11.0 x 8.00 x 4.06 cm) w/o bracket
With Collimator: 4.33”H x 3.15”W x 2.93”D
(11.0 x 8.00 x 7.45 cm) w/o bracketWeight 0.55 lb (0.25 kg)