AeroBar® 5645(5645, 5645A, 5645N)
24V DC
CE
Cleanroom Class 1
FMS
Modulated Pulse
UL
토탈 정전기 컨트롤 시스템
최신 변조 펄스(MP) 기술 이오나이저 바는 Novx 시스템 및 Novx Inside 버전에서 모니터링과 피드백 제어 기능을 제공합니다. 5645MP 바는 반도체 백엔드 첨단 패키징 및 테스트 응용 분야, 초청정 환경에서의 고속 방전, 저전압 및 정밀 균형이 필요한 프론트엔드 고급 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다.
Features
ㆍ Novx 시스템 또는 Novx Inside 버전 사용 시 ±5V 정밀도 유지
ㆍ MP 제어 소프트웨어를 통해 전력과 제어를 중앙 집중식으로 관리, 폭넓은 조정 가능
ㆍ 센서 입력, FMS 연결, 알림, 전원 및 통신이 바의 동일한 단말부에 위치
SPECIFICATIONS
Voltage Input: 24 VDC ±10%, 0.7A (max)
Output: 13.5 kV peak-to-peak (max)Discharge 15 sec (typ) with no air-assist measured @ 24” below AeroBar center Balance <±5V, Novx System or Novx Inside; <±20V, Standalone Ion Emission Modulated pulse (MP) Technology Emitter Single-crystal Silicon and Titanium Cleanroom Class Single-crystal Silicon: ISO 14644-1 Class 1 & Extended ISO Class 1
Titanium: ISO 14644-1 Class 3Dimension 3.1”H x 1.3”W x 13.8 / 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5”L (7.8 x 3.4 x 35 / 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 cm)