Model 5822i
아주 소형화한 디자인의 ionizing blower 5822i는 청정공간에서 사용되는 장비의 협소한 공간에 설치가 용이합니다. 하드 드라이브 제조와 반도체 후공정에서 많이 사용됩니다.
±3V 또는 그 이상의 이온밸런스를 유지하며, 외부 센서와 FMS(Factory Monitoring System) 기능을 이용하면 ±1V의 뛰어난 성능을 제공합니다. 또한 자동 이온밸런스 기능으로 정확한 제전이 가능합니다. 캘리브레이션과 유지·보수 시간이 감소되어 비용 절감의 효과도 있습니다. 팬에 설치된 콜리메이터는 협소한 공간에서 타겟 영역에 정밀하고 균일한 제전을 제공합니다.
ㆍ ±3V 이상의 이온밸런스, ±1V(외부 센서 옵션 확장 경우)
ㆍ ISO 14644-1 Class 4 청정도
ㆍ 옵션 확장 : 센서, FMS연결 및 알람
ㆍ 분리형 control box
장점
ㆍ 최대의 생산수율을 위한 최적의 ESD 솔루션 제공
ㆍ FMS(Factory Monitoring System) 기능을 통한 신속한 피드백 가능
ㆍ 타겟 영역을 빠르게 제전시키기 위해 근접 설치 가능
ㆍ 클린룸 환경에 사용하도록 설계
SPECIFICATIONS
Input Voltage 24 VDC @ 1A from external power supply (100-240 VAC 50/60 Hz) or from tool power Discharge Between 2-2.5 sec @ 1 ft (typ), taken in-line from the center of the fan (±1000V-100V)
Balance ±3V or better balance (±1V with the optional external feedback system) Cleanroom Class Meets ISO 14644-1 Class 4 (Fed Std. 209E Class 10) Dimensions Blower: 4.5H x 3.3W x 2.4D in. (11.5H x 8.3W x 6.1D cm)
Control Box: 1.0H x 5.2W x 2.4D in. (2.5H x 13.2W x 6.0D cm)Weight Blower 1.14 lb (.51 kg); Control Box 0.56 lb (.25 kg)
- Optional Feedback
Novx Process Monitor 7000, Novx Passive Detection System 3352, 또는 Novx Active Detection System 3362의 외부 옵션 피드백 센서 사용으로 밸런스를 감지하거나 자동조정 할 수 있습니다. 타겟영역에 설치된 안테나의 피드백은 5822i 내부 컨트롤 시스템으로 전송됩니다. 이를 통하여 타겟 영역과 대상이 언제나 ±1V 또는 그 이하로 유지시킬 수 있습니다.
- Directed Airflow
옵션 사항인 collimator는 이온화된 에어가 직선으로 더 멀리 전달되도록 하여 이온 재결합의 문제를 제거함과 동시에 제전 성능을 향상시킵니다.
