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AeroBar® 5635 MP

CE Cleanroom Class 1 FMS Modulated Pulse RoHS2 UL 제전 솔루션

5635 Aerobar MP bar는 빠른 제전시간, 낮은 swing voltage 그리고 정밀한 밸런스가 요구되는 반도체 제조와 같은 청정 제조공정에서의 정전기 제거를 위해 특별히 설계되었습니다. 높은 이온 출력과 전달을 위해 변조펄스(Modulated pulse)와 고주파를 결합하는 MP Technology를 사용하여 웨이퍼에서 150mm 이내에서 설치가 가능합니다.
정밀한 조정과 실리콘 방전침을 사용하는 MP technology는 더 작은 Technology node를 위한 ISO 14644012 Ionization(0.01 mm 입자 또는 나노입자)와 ISO 14644-1 Class 1(0.1mm 입자) 청정도에서의 사용에 적합합니다.
최고 청정도를 요구하지 않는 공정의 경우, 옵션기능인 air-assist 를 이용하여 이온 전달을 가속화시켜 긴 거리까지 빠른 제전과 성능을 제공할 수 있습니다. MP Technology는 사용환경에 맞게 조정이 용이하며, 전압, 주파수, 밸런스 컨트롤이 가능하여, 환경의 변화에 따라 제전에 요구되는 민감한 사항들을 충족시킬 수 있습니다.

Features

ㆍISO 14622-12(0.01mm 파티클) 청정도
ㆍ MP(Modulated Pulse) Technology
ㆍ 바 전체에 고른 이온밸런스
ㆍ Air-assist (옵션)
ㆍ 소프트웨어 사용으로 손쉬운 컨트롤(옵션)
ㆍ 알람 출력 (옵션)

장점
ㆍ 14nm, 그 이하의 Wafer Technology node
ㆍ 정밀한 밸런스와 장기간 안정적으로 높은 이온 출력
ㆍ 바 전체의 균일한 이온 밸런스
ㆍ Wafer/Reticle과 가까운 거리에 안전한 배치 가능(150mm)
ㆍ 빠른 자동화 속도에 정전기 중화 성능 강화
ㆍ 손쉽고 빠른 설치
ㆍ 장비 연동 및 FMS 가능

SPECIFICATIONS

 

Input Voltage24 VDC ±10%
BalanceAuto balancing system <±20V over time and across the bar length (measured in a controlled environment at 24” distance)
Ion EmissionModulated pulse (MP) technology
 
Emitter PointsSingle-crystal silicon emitter points
CleanlinessMeets ISO 14644-12 ionization (0.01 mm particles or nanoparticles) and ISO 14644 Class 1 (0.1 mm particles) using 45-50% output voltage
Dimension3.1H x 1.3W x 18/24/34/39/45/51/57/63/69/75/81/87/93L in. (78H x 34W x 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350L mm)
Power Distribution Box(옵션)

파워 분배기로 사용 가능하며, 소프트웨어를 사용하여 최대 8개의 bar를 컨트롤 할 수 있습니다.


 

간단한 설치

간단하게 24VDC 전원과 에어(air assist 가 필요한 경우)를 연결하는 것으로 설치가 가능합니다.

기본적인 제전 성능이 가능하도록 DIP 스위치가 설정되어 있습니다.
소프트웨어 또는 각각의 bar의 세부조정으로 최상의 밸런스, swing voltage 그리고 제전시간 등을 간단하게 컨트롤 할 수 있습니다.  또한 Signal and Power Junction Box와 장비를 알람연결하여 신호출력과 FMS 모니터링이 가능합니다

 

Simple Installation

24VDC전원과 air line(air 사용할 경우)을 연결하는 것으로 손쉽게 설치가 가능합니다.

기본 제전 성능을 위해서 일반 전력 레벨에 대한 DIP 스위치를 설정하면 팩토리 세팅이 활성화됩니다.  소프트웨어를 통해서 또는 세부적인 조정으로 최적의 이온밸런스, swing voltage, 그리고 제전 시간 등을 간단하게 세팅할 수 있습니다.  또한 Signal and Power Junction Box에서 알람연결은 장비로의 신호출력과 FMS 기능을 가능하게 합니다.